近日,在位于洛陽高新區(qū)的洛陽單晶硅有限責(zé)任公司半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園,一批直徑6英寸高純度單晶硅棒成功出爐,技術(shù)人員對產(chǎn)品進行檢驗。目前,洛單半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園已進入試生產(chǎn)階段。其中,國內(nèi)最完整、技術(shù)最先進的年產(chǎn)480萬片6英寸電路級硅拋光片生產(chǎn)線運行穩(wěn)定,加工產(chǎn)品精度可滿足大規(guī)模集成電路的需要,對促進我國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展具有重要的意義。
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